1. Vakuumkammer
Vakuumkammeret er den centrale del af vakuumbelægningsmaskinen. Dets hovedfunktion er at skabe et vakuummiljø og opbevare belægningsprocessen i en vakuumtilstand. Vakuumkammeret er normalt lavet af rustfrit stål eller aluminiumslegeringsmaterialer med høj vakuumforsegling og korrosionsbestandighed.
2. pumpesystem
Pumpesystemet er en af de vigtigste komponenter i vakuumbelægningsmaskinen. Det er hovedsageligt ansvarlig for at udvinde gassen i vakuumkammeret for at få vakuumgraden til at nå den krævede grad. Pumpesystemet er normalt sammensat af molekylære pumper, mekaniske pumper og diffusionspumper. Forskellige pumpekombinationer kan opnå forskellige vakuumgrader og pumpehastigheder.
3. Substratklemmeanordning
Substratklemmeindretningen er en anden vigtig komponent i vakuumbelægningsmaskinen. Det bruges til at fikse det underlagsmateriale, der skal overtrækkes og kontrollerer dets position og bevægelsesbane. Substratklemmeindretningen er normalt sammensat af et roterende tabel, en løftemekanisme og en substratklemme. Forskellige klemmer kan tilpasse sig underlag i forskellige former og størrelser.
4. varmesystem
Varmesystemet er en nødvendig komponent i vakuumbelægningsmaskinen. Det kan varme underlaget og belægningsmaterialet for at fremme dannelsen af belægningen og forbedre dets kvalitet. Varmesystemet implementeres normalt ved modstandstråd, elektromagnetisk opvarmning, induktionsopvarmning og andre metoder.
5. Belægningskilde
Belægningskilden er den sidste komponent i vakuumbelægningsmaskinen. Det bruges til at tilvejebringe det materiale, der skal coates, normalt inklusive metaller, keramik, silicium og andre materialer. Belægningskilden kan deponere materialet på underlaget ved hjælp af elektronstråle, fordampning, sputtering og andre metoder til dannelse af den krævede belægning.
Resumé: Vakuumbelægningsmaskinen er en enhed, der bruges til at fremstille belægninger af høj kvalitet, hvor vakuumkammeret, pumpesystemet, substratklemmningsindretningen, varmesystemet og belægningskilden er dets hovedkomponenter. Disse komponenter arbejder sammen for at afslutte coatingforberedelsesprocessen.
