Elektronstrålefordampning er at placere filmmaterialet i en vand-afkølet kobberdigel og direkte bruge elektronstråleopvarmning til at få atomerne eller molekylerne i filmmaterialet til at fordampe og undslippe fra overfladen og derefter trænge ind i substratoverfladen og kondensere til en film.
Elektronstrålefordampning har højere termisk effektivitet, højere strålestrømtæthed, hurtigere fordampningshastighed og højere renhed af filmen end generel modstandsopvarmningsfordampning.
Ansøgninger:
Optisk belægningsmaskine kan belægge en række filmsystemer med et stort antal lag, såsom kort-bølgepas, lang-bølgepas, anti-reflektionsfilm, reflekterende film, filterfilm, spektroskopisk film, båndpasfilm, dielektrisk film, høj-reflekterende film, farvereflekterende film osv.
Det kan opnå filmbelægning på 0-50 lag film og kan også opfylde belægningskravene for produkter som automotive reflekterende glas, briller, optiske linser, koldt lys kopper osv.
Den kan belægge en række filmsystemer med forskellige fordampningskilder, elektronkanoner, ionkilder og filmtykkelsesmålere og kan fordampe metaller, oxider, forbindelser og andre filmmaterialer med-højt smeltepunkt-.








Funktioner:
Den optiske belægningsmaskine er udstyret med en kvartskrystalfilmtykkelsesmåler, og PLC- og berøringsskærmsystemet er kombineret for at realisere automatisk kontrol af hele arbejdsprocessen med fremragende arbejdseffektivitet og gentagelighed af produktkvalitet.
Velegnet til brug af producenter inden for det optiske område og store-industrielle produktionskrav.
Specifikation:
| Optisk belægningsmaskine | |||||||
|
Model |
SF-800 |
SF-1200 |
SF-1400 |
SF-1600 |
SFW-1000 |
SFW-1200 |
SFW-1600 |
|
Kammerstørrelse |
Φ800×1000MM |
Φ1200×1400MM |
Φ1400×1600MM |
Φ1600×1800MM |
Φ1000×1100MM |
Φ1200×1400MM |
Φ1600×1800MM |
|
Vakuum enhed |
KT500 Diffusionspumpeenhed |
KT630 Diffusionspumpeenhed |
Dobbelt KT630 diffusionspumpeenhed |
Dobbelt KT630 diffusionspumpeenhed |
KT500 Diffusionspumpeenhed |
KT630 Diffusionspumpeenhed |
Dobbelt KT630 diffusionspumpeenhed |
|
Belægningssystem |
Elektronpistolfordampningskilde, belægningshjælpeiondedikeret strømforsyning eller Hall-ionkilde |
||||||
|
Inflationssystem |
Trykregulator |
||||||
|
Kontrolmetode |
Manuel eller fuldautomatisk |
||||||
|
Overvågningssystem for filmtykkelse |
Kvartskrystalfilmtykkelsesovervågningssystem |
||||||
|
Pumpehastighed |
5×10-3Pa﹤15min |
||||||
|
Ultimativt vakuum |
3.0X10-4Pa |
||||||
|
Bemærkning |
Ovenstående udstyrsparametre er kun til reference og er designet og tilpasset i henhold til kundernes faktiske proceskrav. |
||||||
Populære tags: e-beam optisk coater, Kina e-beam optisk coater fabrikanter, leverandører, fabrik
