Hovedårsagerne til langsom præcisionsudvinding i envakuumbelægningsmaskinekan findes i følgende aspekter:
1. Diffusionspumpen kan være utilstrækkelig.
Løsning: Tilslut en ioniseringsmåler til diffusionspumpens indløb for at observere pumpens kapacitet. Overhold pumpetiden og dens grænser, og sammenlign derefter resultaterne.
2. Der er en mindre utæthed i vakuumsystemet.
Løsning: Dette kræver omhyggelig lækagedetektion for at kontrollere, om vakuumholdetiden lever op til den påkrævede standard.
3. Kabinettet er for snavset; et snavset kabinet resulterer i et større luftudslip.
Løsning: Rengør kabinettet.
4. Utilstrækkeligt bagende vakuum; det ultimative vakuum i den mekaniske pumpe eller den mekaniske pumpe plus Roots-pumpen er utilstrækkelig.
Løsning: Brug en modstandsmåler til at kontrollere bagsiden separat.
Langsomt tryk selv under ingen-belastning: Ofte på grund af utætheder, pumpefejl eller blokering af rørledningen.
Normalt ikke-belastningstryk, men langsomt tryk efter lastning: Generelt på grund af udluftning af emnet/værktøjet eller fugt i råmaterialet.
Hyppige tryksvingninger: Typisk lækagepunkt.
Langsomt trykfald, men når ikke standarden: Ofte på grund af store-udluftninger eller blokering af kuldefælden.
Langsom pumpe-ned uden belastning → Tjek for lækager, udskift vakuumpumpeolie, rengør kuldefælden og filtre.
Langsom pumpe-ned med arbejdsbelastning → Tør emner, forlænge for-pumpetiden, bage armaturer/jigs.
Svingende tryk → Find lækagepunkter, reparer vakuumventiler.
Langsom konstant pumpe-ned (ingen trykudsving) → Fjern blokeringer, udfør fuld kammer udbagning- til afgasning.
Daglig forebyggelse og regelmæssig vedligeholdelse (for at forhindre gentagelse)
Dagligt: Kontroller pumpens oliestand, kølevand og luftkildetryk; fjern støv fra overfladen af dørtætningerne.
Ugentligt: Rengør primærfilteret, observer kuldefælden for frost, og afrim efter behov.
Månedligt: Tilfældig kontrol af ventildrift og rørledningsforsegling; udføre afgasning og bagning på værktøjet.
Kvartalsvis/halvårligt-årligt: Skift vakuumpumpeolien for hele enheden; udføre dyb demontering og rengøring af kuldefælden, ledepladerne og rørledningerne.
Standarddriftsprocedurer: Sørg for, at emnerne er helt tørre; minimere indtrængen af fugt-belastede eller flygtige materialer i kammeret; undgå at åbne døren, medmindre det er absolut nødvendigt.
