For det første skal vi præcisere, at forurening i vakuumkammeret i det væsentlige involverer forskellige urenheder (vanddamp, kulbrinter, støv, fedt osv.), der klæber til kammervæggene eller overfladerne af interne komponenter, og danner gas- og dampkilder, der forstyrrer vakuummiljøets balance. Disse forurenende stoffer kommer fra en lang række kilder, herunder resterende skærevæske og smøremiddel fra bearbejdning af emnet, håndsved under drift, luftbåret støv og endda sporurenheder, der indføres af vakuumpumpen eller flygtige stoffer fra målmaterialet eller -substratet. Uanset typen af forurening er kernegenvindingsstrategien "præcist at fjerne urenheder uden at beskadige kammermaterialet og genoprette vakuummiljøet." Forskellige typer forurening kræver forskellige genvindingsmetoder.
Metode 1: Opvarmning for at "fordampe" urenheder - Vakuumopvarmningsrengøringsmetode Dette er den mest grundlæggende og almindeligt anvendte restaureringsmetode. Princippet er meget enkelt: Ligesom at tørre tøj med vandpletter, får opvarmning flygtige urenheder (såsom vanddamp og milde kulbrinter) på overfladen af hulrummet til at fordampe, og derefter fjernes de med en vakuumpumpe, hvorved der opnås rengøring.
Metode 2: Ultraviolet "nedbrydning" af forurenende stoffer - Rensemetode med ultraviolet bestråling. Hvis hulrumsforureningen hovedsageligt består af kulbrinter (såsom resterende smøreolie og organiske forurenende stoffer), vil rensemetoden med ultraviolet bestråling være mere effektiv. Desuden er det ikke-kontakt og ikke-skadeligt under hele processen, hvilket gør det særligt velegnet til scenarier med ekstremt høje materialekrav, såsom præcisionsoptiske kaviteter og halvledervakuumhulrum.
Metode 3: Ion "Bombardement"-dekontaminering - Udledningsrensningsmetode. Til højvakuum- og ultra-højvakuumhulrum (såsom vakuumbelægningsudstyr og halvlederionimplantationshulrum) er forurening ofte mere genstridig, især kulstof og kulbrinter på overfladen af hulrum i rustfrit stål, som er svære at fjerne ved almindelige metoder. I dette tilfælde er udledningsrensningsmetode nødvendig, som også er kernemetoden til dyb restaurering af vakuumhulrum.
Metode 4: Gas "skylning" af urenheder - Gasskylningsmetode Hvis hulrummet kun er let forurenet, eller hvis hurtig genopretning og afkortning af evakueringstiden er påkrævet, er gasskylning det bedste valg. Den er opdelt i nitrogenskylning og reaktiv gasskylning, som er velegnede til forskellige scenarier.
Der skal lægges vægt på beskyttelse efter-kontaminering: Efter restaurering skal hulrummet holdes væk fra olie og støv. Der bør træffes beskyttelsesforanstaltninger under drift, og vakuumpumpen skal vedligeholdes regelmæssigt for at reducere muligheden for genkontaminering. Dette er især vigtigt i områder med ekstremt høje renhedskrav, såsom halvledere og rumfart, hvor hulrumsrenlighed direkte bestemmer produktets levetid og ydeevne. Renheden af vakuumkaviteten er "livline" af høje-vakuumprocesser. Faktisk kan hulrumsforureningsproblemer nemt løses ved at mestre disse fire kernerestaureringsmetoder og fleksibelt vælge den passende metode baseret på graden af forurening og hulrumsmaterialet, hvilket sikrer stabil drift af vakuumsystemet. Med udviklingen af præcisionsfremstillingsindustrien opgraderes støvsugningsteknologien også konstant, fra traditionel varmerensning til miljøvenlig og effektiv udledning og plasmarensning. Flere og flere metoder sikrer renheden af vakuumhulrum og beskytter høj-produktion.
Velkommen til vores Tiktokhttps://www.tiktok.com/@vacuum.coatingmachine tak for flere maskinvideoer.
