Driftstrinnene for den optiske coatingmaskine involverer flere links. Følgende er de detaljerede driftstrin:
1. foreløbig forberedelse
Kontroller maskinstatus:
Kontroller, om den optiske belægningsmaskine er i normal arbejdstilstand, herunder om strømforsyningen, gasskilden, kølesystemet osv. Er normalt.
Fjern affaldet inden i og omkring maskinen, især fordampningsmaterialresten, for at sikre et rent arbejdsmiljø.
Materiel forberedelse:
Vælg optiske linser af høj kvalitet eller andre materialer, der skal coates.
Forbered fordampningsmaterialer, såsom metalmål, for at sikre, at materialets renhed og kvalitet opfylder kravene.
Forberedelse af udstyr:
Forbered nødvendigt belægningsudstyr såsom vakuumfilmtykkelse målere, vakuumpumper og ionkilder.
Kontroller, om udstyret er intakt for at sikre, at det kan fungere normalt.
Miljøforberedelse:
Sørg for, at belægningskammeret er tæt lukket, og der er ingen luftlækage.
Forbered rengøringsværktøjer såsom rengøringsvæske og deioniseret vand samt slibning, dekontaminering og andre værktøjer.
2. forbehandling af belægning
Polering:
Poliser den optiske linse fint for at fjerne små depressioner og urenheder på overfladen.
Rensning:
Brug speciel rengøringsvæske og ultralyds rengøringsudstyr til at rense den optiske linse for at sikre, at overfladen er ren.
Efter rengøring skylles med deioniseret vand for at fjerne resterende rengøringsvæske.
Vakuumopvarmning:
Sæt den rensede linse i vakuumkammeret, og opvarm linsen ved elektrisk opvarmning.
Gas adsorberet på overfladen fordampes og pumpes væk for at sikre, at coatingmiljøets renlighed.
3. belægningsoperation
Indstil procesparametre:
I henhold til belægningskravene skal du indstille passende procesparametre såsom fordampningstemperatur, fordampningshastighed, vakuumgrad osv.
Fordampningsproces:
Føj fordampningsmateriale til fordampningskilden, såsom wolframfilament.
Tænd for fordampningskilden, udfør fordampningsprocessen og frigør aktive atomer.
Filmaflejring:
Brug energikilder såsom ionkilder eller elektronstråler i vakuumkammeret til at deponere de fordampede atomer eller molekyler på overfladen af linsen.
Under deponeringsprocessen bruges en vakuumfilmtykkelsesmåler til at overvåge filmtykkelsen i realtid for at sikre, at de forudbestemte krav er opfyldt.
Hjælpens opvarmning:
Under deponeringsprocessen kan det være nødvendigt at bruge hjælpestyreteknologi til at opvarme substratoverfladen til filmlagets selvkondenseringstemperatur, som er befordrende for kondens og størkning af filmlaget.
4. post-coating-behandling
Afkøling:
Når belægningsprocessen er afsluttet, skal du slukke for energikilderne, såsom fordampningskilden og ionkilden.
Lad vakuumkammeret afkøle naturligt til stuetemperatur eller bruge tvungen afkøling for at fremskynde kølingsprocessen.
Tag emnet ud:
Efter lufttrykket i vakuumkammeret vender tilbage til normalt tryk, åbn vakuumkammerdøren og tag den belagte linse ud.
Rengøring og inspektion:
Rengør den coatede linse for at fjerne urenheder, der kan forblive på overfladen.
Kontroller belægningskvaliteten, herunder om filmtykkelsen, ensartethed, optisk ydeevne osv. Opfylder kravene.
5. Vedligeholdelse og pleje
Rengør reaktionskammeret:
Rengør regelmæssigt det indre af reaktionskammeret og komponenter, såsom varmepladen for at fjerne resterende fordampningsmaterialer og urenheder.
Udskiftning af dele:
I henhold til brugen af udstyret skal du regelmæssigt udskifte delene med hårdt slid, såsom fordampningskilde, ionkilde osv.
Opretholdelse:
Udfør omfattende vedligeholdelse på udstyret, herunder kontrol af, om strømforsyningen, gasskilden, kølesystemet osv. Fungerer korrekt.
Kalibrer og debug udstyret regelmæssigt for at sikre belægningsnøjagtighed og stabilitet.
Ovenstående er de grundlæggende driftstrin for den optiske belægningsmaskine. Optiske belægningsmaskiner af forskellige modeller og specifikationer kan have forskellige specifikke operationer. I den faktiske driftsproces skal udstyrsvejledningen derfor følges strengt, og de relevante sikkerhedsbestemmelser og driftsprocedurer skal overholdes.
