1. Standard miljøforhold: Temperatur 20 grader, relativ luftfugtighed 65%, atmosfærisk tryk 101325 Pa.
2. Standardtilstand for gassen: Temperatur 0 grader, tryk 101325 Pa.
3. Tryk (intensitet): Hastigheden for ændring af momentum af gasmolekyler, der passerer gennem et imaginært plan langs den positive normalretning af det plan, divideret med arealet af dette plan; eller den normale komponent af den kraft, som gasmolekyler udøver på overfladen af dens beholder, divideret med overfladearealet.
4. Pascal (symbol: Pa): SI-enheden for tryk, 1 Pa=1 N/m².
5. Partialtryk: Trykket af en specifik komponent i en gasblanding.
6. Totaltryk: Summen af trykket af alle komponenter i en gasblanding.
7. Vakuum: En gasformig tilstand under én atmosfæres tryk inden for et specificeret rum.
8. Vakuumgrad: Udbredelsen af en gas under vakuumforhold, normalt udtrykt som en trykværdi.
9. Gas: Et stof, der ikke er bundet af intermolekylære kræfter og frit kan optage enhver plads. (Bemærk: I vakuumteknologi anvendes udtrykket "gas" ikke strengt på ikke-kondenserbare gasser og dampe.)
10. Ikke-kondenserbar gas: En gas over dens kritiske temperatur, dvs. en gas, der ikke kan gøres flydende blot ved at øge trykket.
11. Damp: En gas under sin kritiske temperatur, hvilket betyder en gas, der kan gøres flydende blot ved at øge sit tryk.
12. Mættet damptryk: Et stofs damptryk ved en given temperatur, når dets damp og kondenserede fase er i faseligevægt.
13. Mætningsgrad: Forholdet mellem damptryk og dets mættede damptryk.
14. Mættet damp: Damp ved en given temperatur, hvis tryk svarer til dets mættede damptryk.
15. Umættet damp: Damp ved en given temperatur, hvis tryk er mindre end dets mættede damptryk.
16. Molekyltaltæthed (enhed: m⁻³): Antallet af molekyler i volumenet, der omgiver et punkt i en gas på et givet tidspunkt, divideret med produktet.
17. Gennemsnitlig fri vej: Den afstand et molekyle tilbagelægger i to på hinanden følgende kollisioner med andre gasmolekyler kaldes den frie vej. Gennemsnittet af et betydeligt antal forskellige frie veje kaldes den gennemsnitlige frie vej.
18. Kollisionshastighed: Det gennemsnitlige antal kollisioner et molekyle (eller en anden defineret partikel) oplever i forhold til andre gasmolekyler (eller andre definerede partikler) inden for et givet tidsinterval, divideret med den tid. Dette gennemsnitlige antal kollisioner bør opnås med et tilstrækkeligt stort antal molekyler og et tilstrækkeligt langt tidsinterval.
19. Volumetrisk kollisionshastighed: Det gennemsnitlige antal kollisioner mellem gasmolekyler inden for et rumligt område omkring et specificeret punkt inden for et givet tidsinterval, divideret med den tid og rumfanget af det rumlige område. Tidsintervallet og volumen bør ikke være for lille.
20. Gasmængde: Produktet af volumenet optaget af en ideel gas i ligevægt og dens tryk. Denne værdi skal angive gastemperaturen eller konverteres til en værdi på 20 grader. (Bemærk: Mængden af gas refererer til 2/3 af den iboende energi (eller potentielle energi) af gassen i det volumen, der optages af den mængde gas.)
21. Gasdiffusion: En gass bevægelse i et andet medie på grund af en koncentrationsgradient. Mediet kan være en anden gas (i hvilket tilfælde diffusion kaldes interdiffusion) eller et kondenserbart stof.
22. Diffusionssystem: Forholdet mellem den absolutte værdi af massestrømningshastigheden pr. arealenhed og den normale koncentrationsgradient pr. arealenhed.
23. Viskos strømning: En strømningstilstand, hvor den gennemsnitlige frie vej for gasmolekyler er meget mindre end kanalens mindste tværsnitsstørrelse. Derfor afhænger flowet af gassens viskositet; viskøs strømning kan være laminær eller laminær.
24. Viskositetskoefficient: Forholdet mellem tangentialkraften pr. arealenhed i retning af gashastighedsgradienten og hastighedsgradienten.
25. Poissons flow: Laminær -viskositetsstrøm gennem en lang kanal med et cirkulært- tværsnit.
26. Mellemstrøm: Gasstrøm gennem en ledning i en tilstand mellem laminær og molekylær strøm.
27. Molekylær flow: Flow hvor den gennemsnitlige frie vej for gasmolekyler er meget større end det maksimale- tværsnitsareal af kanalen.
28. Knuth-tal: Forholdet mellem den gennemsnitlige frie vej for gasmolekyler og diameteren af ledningen.
29. Molekylær udslip: Strømning, når gas strømmer gennem en tynd-vægget åbning, hvor dens molekylers gennemsnitlige frie vej er meget større end åbningsstørrelsen.
30. Udslip: Gasstrøm gennem et porøst materiale forårsaget af en trykforskel.
31. Termisk flugt: Ved molekylær strømning sker der gasstrøm mellem to forbundne beholdere på grund af temperaturforskelle. Når gastransporten når ligevægt, dannes der en trykgradient mellem de to beholdere.
32. Molecular Flow Rate: Forskellen mellem antallet af molekyler, der passerer gennem en overflade i en given retning, og antallet, der passerer gennem overfladen i den modsatte retning inden for et givet tidsinterval, divideret med tiden.
33. Molecular Flow Rate Density: Molekylær flowhastighed divideret med overfladearealet.
34. Massestrømningshastighed: Massen af gas, der passerer gennem et tværsnit inden for et givet tidsinterval, divideret med tiden.
35. Flowhastighed: Mængden af gas, der passerer gennem et tværsnit inden for et givet tidsinterval, divideret med tiden.
36. Volumetrisk flowhastighed: Volumenet af gas, der passerer gennem et tværsnit under givne temperatur-, tryk- og tidsintervalforhold, divideret med den tid.
37. Antallet af mol gas, der passerer gennem et givet tværsnit inden for et givet tidsinterval, divideret med den tid.
38. Maxwell Velocity Distribution: En hastighedsfordeling bestemt af Maxwell-Boltzmann hastighedsfordelingsfunktionen. Det vil sige hastighedsfordelingen af gasmolekyler i ligevægt ved en given temperatur, og når afstanden til beholdervæggen er større end molekylernes gennemsnitlige frie vej.
39. Transportsandsynlighed: Sandsynligheden for, at molekyler, der tilfældigt kommer ind i indløbet af en ledning, vil gå ud gennem udløbet.
40. Molekylær ledningsevne: Den molekylære ledningsevne af gas, der strømmer gennem to specificerede tværsnit eller åbninger af et rør, udtrykt som forholdet mellem dets molekylære strømningshastighed og den gennemsnitlige molekylære antal tæthedsforskel mellem de to tværsnit eller åbninger i røret.
41. Ledningsevne: Under isotermiske forhold, forholdet mellem strømningshastigheden af en gas gennem en ledning eller en åbning og den gennemsnitlige trykforskel over to specificerede tværsnit af ledningen eller åbningen.
42. Indre ledningsevne: Under forhold, hvor Maxwell-hastighedsfordelingen dominerer i en beholder, er ledningsevnen af en ledning (eller åbning), der forbinder to sådanne beholdere. Under molekylære strømningsforhold er det lig med produktet af indløbsledningsevnen og transportsandsynligheden.
43. Strømningsmodstand: Den gensidige ledningsevne.
44. Adsorption: Opfangning af gas eller damp (adsorbat) af et fast stof eller væske (adsorbent).
45. Overfladeadsorption: Adsorption af gas eller damp (adsorbat) på overfladen af et fast stof eller væske (adsorbent).
46. Fysisk adsorption: Adsorption på grund af fysiske processer.
47. Kemiadsorption: Adsorption på grund af kemiske processer.
48. Absorption: Diffusion af gas eller damp (adsorbat) ind i det indre af et fast stof eller væske (adsorbent).
49. Tilpasningskoefficient: Forholdet mellem den gennemsnitlige energi, der faktisk udveksles mellem en partikel, der falder ind på en overflade og overfladen, og den gennemsnitlige energi, som partiklen skal udveksle for at nå fuldstændig termisk ligevægt på overfladen.
50. Incident rate: Antallet af molekyler, der falder ind på en overflade inden for et givet tidsinterval, divideret med det tidspunkt og overfladearealet.50. Incident rate: Antallet af molekyler, der falder ind på en overflade inden for et givet tidsinterval, divideret med den tid og overfladearealet.
51. Kondensationshastighed: Antallet af molekyler (eller masse af stof), der kondenseres på et givet overfladeareal inden for et givet tidsinterval, divideret med den tid og det pågældende overfladeareal.
52. Adhæsionshastighed: Antallet af molekyler adsorberet på en overflade inden for et givet tidsinterval, divideret med den tid og det overfladeareal.
53. Adhæsionssandsynlighed: Forholdet mellem adhæsionshastighed og hændelseshastighed.
54. Opholdstid: Den gennemsnitlige tid, et molekyle er indespærret i en adsorberet tilstand på en overflade.
55. Migration: Bevægelsen af molekyler på en overflade.
56. Desorption: Frigivelse af gas eller damp adsorberet af et materiale. Frigivelse kan være naturlig eller accelereret ved fysiske metoder.
57. Afgasning: Den kunstige desorption af gas fra et materiale.
58. Afgasning: Den naturlige desorption af gas fra et materiale.
59. Desorptions-, afgasnings- eller gasfjernelseshastighed: Strømningshastigheden (eller molekylær strømningshastighed) af gas, der desorberes (eller afgasses) fra materialet inden for et givet tidsinterval, divideret med den tid og det pågældende overfladeareal.
60. Fordampningshastighed: Antallet af molekyler (eller masse af stof), der er fordampet fra overfladen inden for et givet tidsinterval, divideret med den tid og det pågældende overfladeareal.
61. Permeation: Fænomenet med gas, der passerer gennem et fast barrierelag. Dette fænomen omfatter gasdiffusion gennem et fast stof og kan også omfatte andre overfladefænomener.
62. Permeabilitet: Under konstante strømningsforhold, gasstrømningshastigheden gennem et barrierelag (såsom en beholdervæg) divideret med en funktion af trykket på begge sider af barrierelaget. Formen af denne funktion afhænger af de fysiske processer, der er involveret i den faktiske permeation.
63. Permeabilitetskoefficient: Produktet af permeabilitet og barrierelagstykkelse divideret med det permeable overfladeareal.
Ovenstående er et resumé af fællesvakuumbelægningsudstyrbranchevilkår. Vi håber, at disse oplysninger er nyttige, da beherskelse af disse termer er afgørende for at komme ind i vakuumindustrien.
