Den optiske vakuumbelægningsmaskine består af et vakuumsystem, et fordampningssystem, et kølesystem og et elektrisk system. Vakuumsystemet består af en vakuumtank og et udstødningssystem. Vakuumtanken er belægningsmaskinens hoveddel, og belægningsprocessen afsluttes i vakuumtanken. Vakuumtanken og udstødningssystemet er forbundet med en forbindelsesventil. For at forhindre påvirkning af luftmolekyler på de sputterede ioner og forbedre kvaliteten af filmlaget, skal de optiske komponenter og ionkilden placeres i et vakuummiljø under drift.
Udstødningssystemet består hovedsageligt af en mekanisk pumpe, en Roots-pumpe og en vakuumpumpe, som er ansvarlig for at udtømme gassen i vakuumtanken og danne et vakuummiljø i tanken. Fordampningssystemet refererer hovedsageligt til den filmdannende anordning. Der er mange typer filmdannende enheder i belægningsmaskinen, såsom modstandsopvarmning, elektronkanonfordampning, magnetronforstøvning, radiofrekvenssputtering, ionplettering osv.
Optiske vakuumbelægningsmaskiner påfører tynde film på optiske komponenter gennem vakuumforstøvning, hvilket modificerer reflektionsevnen og transmittansen af indfaldende lys. For at minimere refleksionstab på komponentoverfladen og forbedre billedkvaliteten påføres ofte flere lag tynde film. Efter belægning af en optisk komponent reflekteres og transmitteres lys flere gange på overfladen af flerlagsfilmen og danner flere stråler af interferens. Ved at kontrollere filmlagenes tykkelse og brydningsindeks kan der opnås varierende intensitetsfordelinger. Dette princip kan bruges til at fremstille polariserende reflekterende film, farveopdelingsfilm, film med koldt lys og interferensfiltre for at imødekomme mere komplekse behov.
